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            浙江不銹鋼彎頭電容式硅微加速度計質量塊的位移也可以用電容的方式測量

            瀏覽: 發表時間:2022-06-01 17:35:29 來源:文章來自網絡,如有侵權,請聯系刪除。

              即為一般力傳感器的組成。不銹鋼彎頭電容式硅微加速度計質量塊的位移也可以用電容的方式測量,是電容式硅微加速度計的截面圖,該加速度計由一個與兩端固定的梁帶動的質量塊構成,質量塊的位移由其上下金屬電的電容信號讀出。微陀蝶微陀螺工作原理傳統的機械式陀螺通常是利用一個高速旋轉轉子的角動量守恒原理來測量角速度。測量高速旋轉的角速度微傳感器也可稱為微陀螺或微機械陀螺。在微機電系統中要加工出如此高速旋轉的復雜的轉子系統是非常困難的。幾乎所有的微機械陀螺都放棄了采用高速旋轉的轉子的設計,而是利用振動元件來測出角速度,因此微機械陀螺又被稱為微機械振動陀螺。

              振動陀螺的工作原理是基于科氏效應,不銹鋼彎頭通過一定形式的裝置產生并檢測科氏加速度??剖霞铀俣仁怯煞▏茖W家科里奧利于年首先提出的出現在旋轉坐標系中的表征加速度,其與旋轉坐標系的旋轉速度成正比,。一個在轉動的盤子上從向邊緣作直線運動的球,它在盤子上所形成的實際軌跡是一曲線。該曲線的曲率與轉動速率是有關系的,實際上,如果從盤子上面觀察,則會看到球有明顯的加速度,即科氏加速度。此加速度。由盤子的角速度矢量和球做直線運動的速度矢量’的矢積得出在微機械陀螺中,一般是利用一定的振動質量塊來檢測科氏力。

              質量塊固連在旋轉坐標系的平面,如果假設沿軸方向以相對旋轉坐標系的速度運動,旋轉坐標系繞負軸以角速度旋轉,則根據科氏效應原理,不銹鋼彎頭質量塊在旋轉坐標系的正軸上產生科氏力,且此哥氏力與作用在質量塊上的輸入角速度仙成正比,并會引起質量塊在軸方向的位移。通過測量此位移信息就可獲得輸入角速度的信息。具體來說,振動陀螺是通過一定的激振方式,使陀螺的振動部件受到驅動而工作在振動模態又稱驅動模態質量塊沿軸的運動。當與振動模態垂直的方向有旋轉角速度輸入時沿軸的旋轉加速度∞,振動部件因科氏效應產生了一個垂直于振動模態的振動模態又稱模態質量塊沿軸產生的位移,該模態直接與旋轉角速度成正比。微陀螺示例微機械陀螺可采用多種分類方法進行分類,如振動結構材料驅動方式檢測方式和工作模式加工方式等。按振動結構可將微機械陀螺劃分成線振動結構和旋轉振動結構;按材料可將微機械陀螺劃分為硅材料和非硅材料陀螺;按驅動方式可將微機械陀螺分為靜電式驅動電磁式驅動和壓電式驅動等;按檢測方式可將微機械陀螺劃分成電容性檢測壓阻性檢測壓電性檢測光學檢測和隧道效應檢測等;按檢測方式可將微機械陀螺劃分成電容性檢測壓阻性檢測壓電性檢測光學檢測和隧道效應檢測等:按加工方式可以將微機械陀螺劃分成體微機械加工表面微機械加工等。在線振動結構里又可劃分成正交線振動結構和非正交線振動結構。


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